感光性樹脂への多重露光による圧力センサに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): A Study of Pressure Sensor Fabricated by Photo Sensitive Polymer

著者名: 岸田 雄介(兵庫県立大学),田口 正敏(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Yusuke Kishida(University of Hyogo),Masatoshi Taguchi(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 圧力センサ|感光性樹脂|多重露光

要約(日本語): 近年MEMSのデバイス作製プロセスに重要なフォトリソグラフィには、微細化に加えマスクレス、ハーフトーン、非常に厚い試料や凹凸のある試料への対応が求められている。本研究室ではこれらの要求に対応可能なDMD露光機を作製し、多重露光による自立構造デバイスを作製している。本稿では2段階のリソグラフィによる密閉構造を作製し、構造内部は大気で密閉され、この圧力と印加圧力の差圧を測るMEMS圧力センサの設計、試作結果について述べる。なお上部電極であるメンブレンが圧力の印加によってたわみ、電極間の静電容量が変化し、この容量変化をC/V変換することで圧力を検出する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 871 Kバイト