高性能シリコンマイクロホンの動作電圧低減

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Lowering of Operating-Voltage for High performance Silicon Microphone

著者名: 田島 利文(NHK),井口 義則(NHK),後藤 正英(NHK),小野 一穂(NHK),杉本 岳大(NHK),安藤 彰男(NHK),栗田 泰市郎(NHK),武子 太司(パナソニック半導体デバイスソリューションズ),日森 徹(パナソニック半導体デバイスソリューションズ)

著者名(英語): Toshifumi Tajima(NHK Science and Technical Research Laboratories),Yoshinori Iguchi(NHK Science and Technical Research Laboratories),Masahide Goto(NHK Science and Technical Research Laboratories),Kazuho Ono(NHK Science and Technical Research Laboratories),Takehiro Sugimoto(NHK Science and Technical Research Laboratories),Akio Ando(NHK Science and Technical Research Laboratories),Taiichirou Kurita(NHK Science and Technical Research Laboratories),Futoshi Takeshi(Panasonic Semiconductor Device Solutions Co.,Ltd.),Tooru Himori(Panasonic Semiconductor Device Solutions Co.,Ltd.)

要約(日本語): 従来のマイクロホンは樹脂や金属などの多数の部品を組み立て製作されるため、素材の物性や部品間の熱膨張差に起因した温度・湿度に弱いという問題と量産性に課題があった。これに対し当所では物性が安定で引っ張り強度などの機械特性も良好な単結晶シリコンを用いたMEMSマイクの開発を進めている[1]。これまでに動作電圧が42Vの放送用小型マイク（5.7×3×13mm）を試作し、放送に適用可能な優れた音響性能（帯域30Hz?20kHz, 感度-42dB, ノイズ<30dBA, 耐入力音圧>134dB）を確認した[2,3]。現在、本マイクの放送以外の分野への応用も進めるため動作電圧の低減を図っており、今回、車載用などへの応用が期待できる12V動作マイクの試作とその音響性能およびJIS基準にもとづく耐熱・耐湿性能試験に付いて報告する。

原稿種別: 日本語

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