渦電流微小変位センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Development of Narrow Gap Displacement Eddy Current Sensor

著者名: 金 春起(早稲田大学),武内 康浩(日本自動車部品総合研究所),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): ChunQi Jin(Waseda University The Graduate School of Information,Production,Systems),Yasuhiro Takeuchi(NIPPON SOKEN,INC.),Toshitsugu Ueda(Waseda University The Graduate School of Information,Production,Systems)

キーワード: 渦電流変位センサ|微小変位|積層

要約(日本語): 渦電流変位センサは水、油、およびほこり等充満する悪環境下において、非接触で計測できるという特徴を持っている。本研究では微小変位を測定する渦電流センサの開発を行ってきた。今回、試作した積層型渦電流センサはセラミックス基板上にコイルを積層する形式のものである。センサに導体が近接すると、コイル出力のインダクタンスが変化することによって、本研究はその特徴を利用することで、微小変位（数十マイクロメートル）変化によって、コイルのインダクタンスがどうやって変化するのを実験してきた。今回、試作した渦電流変位センサのインダクタンスと変位関係は微小変位計測の活用に十分証明されたことを報告したい。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 698 Kバイト