実動作におけるロバスト性を向上した柔軟型シリコンMEMS触覚イメージセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Flexible Silicon-MEMS Tactile Image Sensor with Robustness for Practical Applications

著者名: 矢和田将貴 (豊橋技術科学大学),高尾英邦 (豊橋技術科学大学),澤田和明 (豊橋技術科学大学),石田 誠 (豊橋技術科学大学)

キーワード: 触覚センサ|MEMS|スマートセンサ|ロバスト性|ロボティクス|ピエゾ抵抗

要約(日本語): これまで、素子の柔軟性と複合触覚機能の集積化、画素の高集積化を可能とするシリコン触覚イメージセンサを報告してきた。今回、実際の使用に向けて接触に対するロバスト性を改善可能な新しい製作プロセスを考案した。本プロセスはウェハ薄化技術を用いることで回路形成面を接触面の裏側とでき、直接接触による回路の損傷を防ぐことが可能となる。また、Deep-RIEにより加工するため任意のダイヤフラム形状が形成可能となり、円形状にすることで応力集中を緩和した。さらにはオーバーレンジストッパ構造も同時に形成される。実際に製作したデバイスにてロバスト性評価をおこなった結果、直接接触に対するロバスト性と過大入力に対するロバスト性が大きく向上した。また、三次元形状である点字の表面画像化にも成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,045 Kバイト