Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-132

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Fabrication and Finite Element Analysis of Tri-axes Tactile Sensor by using Cr/Si Inclined Cantilevers and Elastomer

著者名: 寒川 雅之(大阪大学),美馬 達也(大阪大学),大西 浩之(大阪大学),黄 裕銘(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学),池田 正哲(オムロン),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Masayuki Sohgawa(Osaka University),Tatsuya Mima(Osaka University),Hiroyuki Onishi(Osaka University),Yu-ming Huang(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology),Masaaki Ikeda(Omron),Haruo Noma(ATR)

キーワード: 触覚センサ|有限要素解析|エラストマ|ピエゾ抵抗|カンチレバー

要約(日本語): Cr/Siカンチレバー構造とエラストマを用いた触覚センサを作製し、その出力について有限要素法を用いて解析を行った。作製した触覚センサは圧力および剪断力双方に対して線型性の良い応答を示した。また、圧力についてはピエゾ抵抗変化が有限要素解析結果と良く一致した。一方、剪断に関しては測定と解析の結果に若干のずれが生じた。これは有限要素解析において単純剪断だけを考慮して計算を行ったが、実際の剪断応答測定時には単純剪断だけでなく圧力も加わっていたためであり、これを考慮することによりさらに厳密な解析が可能であると考えられる。これらの結果から有限要素法による解析が有効であり、解析結果を元に構造の改善を図ることが可能であることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト