水晶マイクロ加工による高周波振動子の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Development of high frequency quartz resonators using quartz MEMS technique

著者名: 譚 克 (早稲田大学),梁 金星 (早稲田大学),植田敏嗣 (早稲田大学)

キーワード: 高周波水晶振動子|マイクロ加工

要約(日本語): 本研究は伝統のウェトエッチングプロセスを改善し薄板水晶振動子の製作プロセスを確立した。金属の表面にリフトオフレジストを塗布し、その塗層をマスクとしてパターンを作って、このように従来のプロセスの二回目露光、現像が省けて、普通の露光装置で製作でき、製作原価を抑えることが可能になる。この新しいプロセスに基づいて試作した厚さ30umの水晶振動子を実装、測定した。できあがった水晶振動子の共振周波数は70MHz,Q値1万以上である。主振動の5MHz以内にはスプリアスがあるが振動子として使用可能がある。できあがった30umの水晶は今匂いセンサーとして乳癌の検出に応用される。今この新しいプロセスで15umの振動子を試作している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト