ディスク型MEMS振動子の保持方法について

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-135

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): A study on support methods of disk-type MEMS Resonator

著者名: 昆野舜夫 (産業技術総合研究所),池原 毅 (産業技術総合研究所),三原孝士 (オリンパス)

キーワード: ディスク型振動子|保持方法|理論解析|シミュレーション|振動モード

要約(日本語): 面内で振動するディスク型機械振動子の理論解析は、古くからなされ基本的には既に終了しているが、高周波フィルタ等への応用を目的としてMEMS化の研究が活発である。MEMSディスク型振動子の高性能化に向けた課題の一つに、振動子の振動に影響を与えないMEMS化に適した振動子の保持方法がある。先に我々は振動子を穴あきにして振動子の外径と内径の比を選ぶことで振動子の周辺に不動点を生じさせ、そこを保持する方法を報告（センサーシンポ'07）した。この不動点をさらに詳しく調べたところ、不動点とその周辺には回転運動があることを理論的な検討とシミュレーションによって示すと共に、この回転運動が有っても振動子の振動に影響を与えない振動子保持方法として‘Clamped-Pinned single span Beam’を用いる方法を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 855 Kバイト