ディスク型振動子の共振周波数の温度依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-136

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Temperature Dependence of the Resonant Frequency of Annular Disk-Type Resonator

著者名: 李 東建 (産業技術総合研究所),昆野舜夫 (産業技術総合研究所),高野貴之 (産業技術総合研究所),池原 毅 (産業技術総合研究所),三原孝士 (オリンパス)

キーワード: ディスク型振動子|共振周波数|温度変化|シリコン単結晶|結晶異方性

要約(日本語): SOIウエハーを用い，<110>方向にディスクを保持した穴あき振動子の(1, 2)モードについて，共振周波数の温度変化を調べた結果，そのTCF値は-30.5ppm/℃であった．このような温度の上昇による共振周波数の減少の原因を調べるために，ディスク型振動子の共振周波数の式を用い，各々の結晶方向について温度変化による共振周波数のTCF値を計算した結果，<110>方向のTCF値(-32.8ppm/℃)と最も一致することが分かった．この結果は，振動子の主振動方向が<110>方向であることに起因すると考えられ，また，温度の増加による共振周波数の減少の主な原因は，Si単結晶の弾性係数の減少によるものであることが分かった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 856 Kバイト