櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOIジャイロスコープ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-137

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Y-axis vibrating SOI gyroscope using vertical comb electrodes

著者名: 濱口 裕之(京都大学),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Hiroyuki,Hamaguchi|Kouji,Sugano|Toshiyuki,Tsuchiya|Osamu,Tabata

キーワード: ジャイロスコープ|振動型ジャイロ|SOI|櫛歯型電極|vertical comb electrode

要約(日本語): 加速度センサや振動型ジャイロに代表されるMEMSセンサは小型化，低コストといった利点のために広く普及し，今後，より一層の低コスト化が求められている．そこで特殊な櫛歯型垂直変位電極の原理に着目した．ここでは高さの異なる櫛歯型電極対をSOIデバイス層に作製し，Z軸方向の変位を検出する．我々はこれまで，この新奇な電極構造を応用することでSOIウエハのデバイス層のみから成る3軸加速度センサを作製している．今回，このZ軸方向変位検出の原理を振動型ジャイロに適用する．平面構造によるZ軸回転検出の振動型ジャイロは数多く報告されており，本研究で提案する基板面内軸(Y軸)回転検出振動型ジャイロと3軸加速度センサを組み合わせることで，同一プロセスで全6軸の慣性力が検出可能なデバイスを同一チップ上に作製できる．ここではこのY軸ジャイロの設計について報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,404 Kバイト