2軸バルクPZTジャイロに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-138

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): A Study of Dual-Axis Bulk-PZT Gyroscope

著者名: 前川 賢太(兵庫県立大学),田中 佳人(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Kenta Maekawa(University of Hyogo),Yoshito Tanaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ジャイロスコープ|PZT|圧電素子|共振|角速度|振動

要約(日本語): 本研究室では以前より、振動型ジャイロの欠点である加速度の影響を受けにくく、耐衝撃性に優れた1軸振動型圧電ジャイロを検討してきた。構造材としてはバルクPZTを用いている。今回、単一の振動モードで2軸の角速度を検出することが可能なジャイロの形状について設計、試作を行った。設計にはFEM解析を用い、今回角速度を検出するために用いる共振モードが305kHzに存在することを確認した。本構造はPZTを共振し続けなけばならず、そのために位相が大きく変化する部分に参照電極を設けた。試作したデバイスの参照電極での周波数特性を測定した。結果より解析と2%の誤差があったが共振モードを特定することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 897 Kバイト