ナノグラニュラー型磁気センサの感度制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Sensitivity Control of Nano-Granular type Magnetic Sensor

著者名: 蟹江三次 (大同特殊鋼),小山恵史 (大同特殊鋼),八木富一 (大同特殊鋼),長田誠一 (大同特殊鋼)

キーワード: 磁気センサ|ナノグラニュラー|小型|高感度|トンネル型磁気抵抗効果

要約(日本語): GIGS(Nano-Granular In Gap Magnetic Sensor)は単独では感度の低いナノグラニュラ?膜をヨーク膜のギャップ部分に配置し、感度の向上を図っている。この感度制御に関して、電磁研はヨーク膜のギャップ長と膜厚の比d/tによる制御を提唱しているが、この手法ではナノグラニュラ?膜の寸法を変化させるため、素子の抵抗値が変化するという問題がある。本研究では、ヨーク膜の長さと幅のアスペクト比(L/W)のみを変化させることで、素子の抵抗値を変化させずに感度制御を行った。また、GIG構造を用いたチップサイズ0.65mm□の小型磁気センサを試作した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 842 Kバイト