差動型電流検出型熱電対の試作とその熱分析への応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): The trial production of a differential current detection type thermo-couple, and its application to the thermometric analysis

著者名: 木村光照 (東北学院大学),木村大介 (東北学院大学)

キーワード: 熱分析|熱電対|温度センサ|SOI

要約(日本語): 従来の熱電対やサーモパイルは、温度差検出センサとして温度差ΔTに比例する開放電圧を検出するのに対して、内部抵抗rを極端に小さくして、その短絡電流Isを検出した方が外部に取り出せる電力が大きくなるので、S／Nが大きくなり、一対で済み、宙に浮いた薄膜構造にすると、熱容量が小さく超小型のサーモパイルに代わる温度差センサとして利用できることを提案してきた。今回、超小型熱分析への応用を目指し、これらを差動型に形成して両者の温度差を検出できるようにした差動型電流検出型熱電対を試作して、その動作を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 735 Kバイト