比例型絶対温度センサを用いた真空センサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-149

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Investigation of the Vacuum Sensor Using Proportional Type Absolute Temperature Sensor

著者名: 木村光照 (東北学院大学),高嶋徳明 (東北学院大学)

キーワード: 温度センサ|真空センサ|SOI|絶対温度|トランジスタ

要約(日本語): これまで我々は、絶対温度Tに対して正比例の出力電圧VOが得られる比例型絶対温度センサを開発してきた。これを薄膜ピラニ真空センサに適用した結果、10＾5 Paから10＾-3 Paの圧力を測定可能な真空センサが得られた。また、温度センサにトランジスタを用いることで、更に広い電流範囲で使用可能であるため高感度化が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 631 Kバイト