マイクロプラズマを用いた汎用検出器の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Universal Detector for Gas Chromatograph by using Microplasma Excitation

著者名: 有馬善則 (奈良先端科学技術大学院大学),西野正憲 (島津製作所),叶井正樹 (島津製作所),西本尚弘 (島津製作所),中西博昭 (島津製作所),小関英一 (島津製作所)

キーワード: マイクロプラズマ|ガスクロマトグラフ|MEMS

要約(日本語): ガスクロマトグラフ（GC）用マイクロプラズマ励起型検出器のマイクロチップ化について検討したので報告する。GC検出器のマイクロチップ化は、使用されるキャリアガス・サンプル量の低減を可能にし、かつシリコン製チップカラムとの集積化も可能になるため、小型化が期待でき可搬型GCに適している。本研究ではマイクロプラズマを用いたガラスチップ型の検出器を試作し、サンプルである窒素・酸素・メタン･プロパンの検出感度を評価した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 631 Kバイト