低消費電力半導体薄膜ガスセンサの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-162

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): study on a semiconductor thin-film gas sensor with low power consumption

著者名: 堀内 穣(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Minoru Horiuchi(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: 低消費電力|半導体薄膜ガスセンサ|ダイヤフラム

要約(日本語): 半導体薄膜ガスセンサは、通常200?400℃の高温で動作するために、センサ部をヒータで高温にする必要がある。このヒータによる消費電力の大きさが一つの課題となっているが、実現されればセンサの電池駆動や警報機のコードレス化などが可能となる。ヒータの消費電力低減のためマイクロヒータを基板上に作成し、熱拡散を抑える断熱化構造であるダイヤフラム構造をセンサ基板に施し、また基板自体も熱伝導率が小さいガラスを用いてセンサの作成を行った。作成したセンサを用いてガスを注入して測定を行い、セラミックヒータでセンサを駆動させた場合と、断熱化構造を施さないでマイクロヒータのみで駆動させた場合、断熱化構造を施した場合との駆動電力の差を今回の測定で見出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,431 Kバイト