インピーダンス変化型半導体ガスセンサの作製、評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-163

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of Impedance Variable Type Semiconductor Gas Sensor

著者名: 武笠智昭 (芝浦工業大学),齋藤 敦史(芝浦工業大学)

著者名(英語): Chiaki Mukasa(Shibaura Institute of Technology),Atsushi Saitoh(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 半導体ガスセンサ|くし型電極|物理吸着|交流計測

要約(日本語): 半導体ガスセンサの電気的特性を計測する電極にくし型電極を採用し、同センサの欠点である可燃性ガスに対する選択性の向上を図る。くし型電極を用いることでセンサはインピーダンス変化型となり、従来の導電率変化の検出に加え、ガス分子の物理吸着時に生じる半導体の誘電率変化の取得を可能とする。センサ作製にはSol-Gel法を採用し、酸化スズ膜を形成したインピーダンス変化型のセンサを開発した。本報告では、インピーダンス変化型半導体ガスセンサの応答特性、特にガス分子の物理吸着に伴うセンサ容量変化の応答を評価しており、異なる吸着状態での応答を取得することによる半導体ガスセンサの選択性向上への有効性を述べている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,802 Kバイト