テラヘルツ波ケミカル顕微鏡によるガス選択検出手法の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-164

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Gas-selective detection using Terahertz Chemical Microscope

著者名: 小野坂 宏之(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),川山 巌(大阪大学),斗内政吉 (大阪大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Hiroyuki Onosaka(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Iwao Kawayama(ILE,Osaka University),Masayoshi Tonouchi(ILE,Osaka University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: テラヘルツ波|ガスセンサ|フェムト秒レーザー

要約(日本語): 現在，燃料による環境問題やエネルギー問題に対して，新たな燃料として水素エネルギーが期待されている．そのために，水素ステーションの普及に水素センサが欠かせない．しかし，水素センサでは他の気体に対し，感度が影響される．一方，我々はこれまでに触媒金属・絶縁体・半導体にフェムト秒レーザーを照射することで発生するTHz波の強度を測定することで，半導体の内部の空乏層変化を非接触で計測するテラヘルツ波ケミカル顕微鏡（TCM）を提案してきた．本研究では，様々な触媒金属をアレイ状に形成し，TCM画像を計測して，そのパターンよりガスの種類を特定する手法を提案する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 965 Kバイト