各種ガスによるプロトンポンピングゲート水素センサのゲート部のインピーダンス変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-166

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Gate Impedance Transition of Proton Pumping Gate Hydrogen Sensor in Various Gas Atmospheres

著者名: 滝澤正教 (岡山大学),山口 富治(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Masanori Takisawa(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 水素センサ|プロトンポンピング|インピーダンス

要約(日本語): 水素エネルギー普及のため，迅速に検知できる水素センサの開発が必要とされている．触媒金属/固体電解質膜/触媒金属で構成される新しいゲート構造のプロトンポンピングゲートFET型水素センサを作製した．各種ガスによる感応部での応答機構を解析するため，感応部であるゲート部のインピーダンス測定を行った．結果，空気中では酸素ガスによるゲート部への影響が示されただけではなく，他のガスにおいてもセンサ応答特性とインピーダンスの変化との関連性が示された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 915 Kバイト