水中マイクロプラズマ還元処理によるカーボンナノチューブのパラジウム修飾と水素ガスセンサへの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Hydrogen Sensor Based on Carbon Nanotubes Decorated with Palladium Using Microplasma in Water

著者名: 山根 真司(九州大学),小手川 誠(九州大学),加藤祐樹 (九州大学),Khaled Osman Usama (九州大学),今坂 公宣(九州大学),末廣純也 (九州大学)

著者名(英語): Shinji Yamane(Kyushu University),Makoto Kotegawa(Kyushu University),Yuki Kato(Kyushu University),Khaled Osman Usama (Kyushu University),kiminobu Imasaka(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: 水素ガスセンサ|水中マイクロプラズマ|誘電泳動|パラジウム|カーボンナノチューブ

要約(日本語): 水素はクリーンなエネルギーとして注目されているが、大気中で爆発しやすい性質を持っているため、安全性の確保のために高感度の水素ガスセンサの開発が不可欠である。また、カーボンナチューブ(CNT)ガスセンサは優れた特性により近年注目されており、反応性を向上させるためにパラジウム(Pd)等の触媒金属で修飾したCNTガスセンサにより水素検出に成功した例が報告されている。筆者らはこれまでに誘電泳動を利用してCNTなどのナノマテリアルをマイクロ電極上に集積してセンサを作製する手法(誘電泳動集積法)を開発している。本研究では、簡便なCNTの修飾法として、水中マイクロプラズマによる還元反応によってCNT表面を触媒金属であるPdで修飾する手法を提案した。更に、Pd修飾したCNTを誘電泳動集積してセンサを作製し、同センサの水素に対する応答を調査した。作製したセンセで0.01 - 1 %の水素を常温で検出することに成功した。また、EDX分析により実際にCNTがPdで修飾されていることを確認した。今後は還元反応条件とセンサ応答の関係を更に詳しく調査し、センサ応答の改善を目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,132 Kバイト