水晶振動子法による活性酸素種の計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-168

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Active Oxygen detection by means of Quartz Crystal Microbalance Method

著者名: 松本 裕之(岩崎電気),松岡 幹彦(岩崎電気),野田 和俊(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Hiroyuki Matsumoto(Iwasaki Electric Co.,Ltd.),Mikihiko Matsuoka(Iwasaki Electric Co.,Ltd.),Kazutoshi Noda(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: 水晶振動子法|活性酸素|オゾン|原子状酸素ラジカル

要約(日本語): 基材の表面洗浄、改質、殺菌、滅菌等の各種プロセスで用いられる低圧水銀ランプにおいて、ランプから放射されるUV光によって生成する活性酸素種をモニタリングすべく、水晶振動子（QCM）法を用いた計測について検討を行った。発振周波数9MHz、銀（Ag）電極を有する水晶振動子をUVランプボックスのランプ直下、および、ランプボックスに接続された排気流路途中にそれぞれ設置し、ランプ点灯後から20分間の周波数シフト量をそれぞれモニターした。結果、銀（Ag）電極表面の酸化反応に起因する周波数シフト（減少）がそれぞれ確認され、また、周波数シフト量の差異から、オゾン、および、原子状酸素ラジカル選択計測の可能性が示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,494 Kバイト