カンチレバーガスセンサのVOC検出感度評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-173

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): VOC detection sensitivity evaluation of a cantilever gas sensor

著者名: 池原 毅(産業技術総合研究所),魯 健(産業技術総合研究所),布川 正史(信州大学),木村 睦(信州大学),三原 孝士(オリンパス)

著者名(英語): Tsuyoshi Ikehara(AIST),Jian Lu(AIST),Tadashi Fukawa(Shinshu University),Mutsumi Kimura(Shinshu University),Takashi Mihara(Olympus Corporation)

キーワード: 質量センサ|ガスセンサ|カンチレバー|感度|QCM

要約(日本語): 振動式ガスセンサとして、シリコン微細加工を使って作られるカンチレバー振動子は、さらに高感度・集積化を実現するセンサプラットフォームとして期待されている。本報では、ポリブタジエン膜を付けた厚さ5μm、長さ500μmのマイクロカンチレバー振動子を試作し、その感度を評価した。125ppm?1000ppmのトルエンを含んだ窒素ガスに対するカンチレバー振動子（2次モード）の共振周波数を測定したところ、5?40Hz程度の周波数変化が観測された。同時に測定したQCM（9MHz）と比較しても、周波数変化、応答時間、安定度ともに遜色がなかった。さらにこれらの感度解析を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 844 Kバイト