マイクロカンチレバー検出器と吸着管を用いた小型化学センサシステム

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Miniature chemical sensor system employing a micro-cantilever detector and an adsorption tube

著者名: 三原 孝士(オリンパス),池原 毅(産業技術総合研究所),魯 健(産業技術総合研究所),前田 龍太郎(産業技術総合研究所),木村 睦(信州大学),布川 正史(信州大学),劉 野(信州大学),平井 利博(信州大学)

著者名(英語): Takashi Mihara(Olympus FCL),Tuyoshi Ikehara(AIST),Jian Lu(AIST),Ryutaro Maeda(AIST),Mutsumi Kimura(Shinshu University),Tadashi Fukawa(Shinshu University),Ye Liu(Shinshu University),Toshihiro Hirai(Shinshu University)

キーワード: 化学センサー|マイクロ振動子|カンチレバー|吸着管

要約(日本語): 高感度な質量検出器の一つであるMEMSプロセスで作成したマイクロカンチレバーと、カーボンファイバーを充填した吸着管を用いて、小型化学センサーの実験機を作成した。全体システムは、小型ポンプ、吸着管、カンチレバー、QCMおよびMOSセンサーを含むセンサー容器、カンチレバーを発振させるアナログ帰還回路、PCを用いた制御・計測系で構成される。カンチレバーは長さ500μm、幅100μm、厚さ5μmでSOIウェハーを用いて作成され、153kHzの2次振動モードで発振させ、検出はP型半導体を用いたピエゾ抵抗を用いた。エタノール、トルエンの混合ガスを吸着管に吸着させ、吸着管を約500度Cまで加熱して、その離脱ガスをカンチレバーセンサーの振動数変化で検出し、2つのピークに分離されることを確認した。また10分、30分、60分と吸着時間を変えた場合のセンサー応答が、吸着時間に比例することを確認し、小型分析システムとしの可能性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 737 Kバイト