ボールSAWデバイスを用いた匂いセンサの感度向上に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-179

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Sensitivity improvement of odor sensing system using ball SAW devices

著者名: 関根 正顕(東京工業大学),中本 高道(東京工業大学),中曽 孝尊(凸版印刷),野口 和洋(凸版印刷)

著者名(英語): Masaaki Sekine(Tokyo Institute of Technology),Takamichi Nakamoto(Tokyo Institute of Technology),Noritaka Nakaso(Toppan Printing Corporation),Kazuhiro Noguchi(Toppan Printing Corporation)

キーワード: ボールSAWデバイス|エレクトロスプレイ|Savitzky-Golayフィルタ|匂いセンサ|検出限界

要約(日本語): 筆者らはボールSAWデバイスを用いた匂いセンサの研究を行っている。ボールSAWデバイスには発生したSAWが、球表面の特定の細い経路に沿って非常に効率よく多重周回する性質がある。多重周回した後の信号を検出することで、SAWの遅延時間変化を多くとることができる。よって、小型で高感度のセンサの実現が期待できる。今回、ACエレクトロスプレイ法によりデバイス表面に感応膜を塗布し、感応膜厚を匂い感度の観点から最適化することに成功した。さらに出力波形に対して、Savitzky-Golayフィルタにより窓内データを多項式近似し平滑化を行うことでブタノールをSub-ppmレベルで検出することに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 857 Kバイト