炭化ケイ素の放電加工の極性依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-220

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Voltage Polarity Dependence on Electric Discharge Machining for Silicon Carbide

著者名: 野呂 聡哉(中部大学),加藤 広幸(中部大学),浜辺 誠(中部大学),山口 作太郎(中部大学),横井 英男(テックエイチエム),馬嶋 英義(テックエイチエム),長尾 嘉久(サンテクノ),森 照雄(サンテクノ)

著者名(英語): Toshiya Noro(Chubu University),Hiroyuki Katou(Chubu University),Makoto Hamabe(Chubu University),Satarou Yamaguchi(Chubu University),Hideo Yokoi(TECH H.M.),Hideyoshi Majima(TECH H.M.),Yoshihisa Nagao(Suntechno Co.,LTD.),Teruo Mori(Suntechno Co.,LTD.)

キーワード: 炭化ケイ素|放電加工|加工メカニズム|電源極性|電子|正イオン

要約(日本語): これまでに、炭化ケイ素（SiC）の放電加工に成功している。効率的な放電加工を行うため、加工メカニズムの理解が必要になる。そこで、電源極性によってどのように変化するかを調べた。SiCを?極にすると面粗度が悪化した。また、ワイヤが?極の時には表面が部分的に黒くなっているが、EDX分析からC及びSiであった。これは正イオンのC,Siが?極に引きつけられたと考えられる。これより逆極性になるとプラズマによって発生したSi及びCの正イオンが再びSiCに付着することが推定され、面粗度に影響を与えると考えられる。さらに、ワイヤが+極の時にはダメージが多く見られた。これは、電子がワイヤに衝突する際に大きなエネルギーを狭い範囲に与えるためと推定している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 557 Kバイト