ワイドギャップ用変位センサの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-204

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): A Displacement Sensor for Wide Gap

著者名: 益子明宏 (東京理科大学),朝間淳一 (東京理科大学),千葉 明 (東京理科大学),深尾 正 (東京理科大学)

キーワード: 磁気軸受|ベアリングレスモータ|ワイドギャップ|変位センサ

要約(日本語): 半導体・医薬品製造装置などに用いる純水・高純度薬液搬送用遠心ポンプ駆動用に，回転軸の非接触磁気支持が可能で，無摩耗・無発塵，メンテナンスフリー等の利点を有する磁気軸受・ベアリングレスモータの開発が行われている。このような用途では，固定子と回転子を隔壁で覆う必要があることから，固定子・回転子間の磁気的なギャップが広くなる。したがって，回転子位置を計測する変位センサも，大きなギャップを隔てて数μm の変位を検出しなければならないため，大型化する恐れがある。そこで，微小な変位変化をできるだけ大きな電流あるいは電圧の変化として取り出すよう，回路方式を工夫する必要がある。また，制御系への組み込みの容易さから，ディジタル出力化が望ましい。本研究は，省スペース化を可能とする，ワイドギャップでも検出可能な変位センサの提案，設計，試作，および性能評価を目的とする。具体的には，ベアリングレスモータの固定子鉄心部にサーチコイルを施し，RLC 直列共振回路を用いることで，ワイドギャップでの省スペース化と変位計測を図る。目標測定範囲は，ギャップ5mm を隔てて±0.2mm とする。また，コンパレータを用いて検出信号をパルス化することでディジタル出力を実現する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,902 Kバイト