超伝導バルク磁石搭載超低圧スパッタリング装置の現状と開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-3

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

著者名: 生田博志 (名古屋大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,585 Kバイト