高電離パルスグロースパッタリング装置の特徴と成膜への応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-5

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

著者名: 行村 建 (同志社大学),東 欣吾 (兵庫県立大学),玉垣 浩 (神戸製鋼所),沖本忠雄 (神戸製鋼所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,860 Kバイト