磁性多層膜における磁気特性のスパッタ条件依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-7

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

著者名: 岩田 聡 (名古屋大学),前田幸春 (名古屋大学),鈴木勇佑 (名古屋大学),坂下洋平 (名古屋大学),加藤剛志 (名古屋大学),綱島 滋 (名古屋大学),豊田浩孝 (名古屋大学),菅井秀郎 (名古屋大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,357 Kバイト