スパッタによる高温超伝導薄膜の成膜および堆積機構に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-8

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

著者名: 佐々木浩一 (名古屋大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,291 Kバイト