集積回路上へのシリコンマイクロプローブ形成と応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S24-2

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

著者名: 石田 誠 (豊橋技術科学大学),河野剛士 (豊橋技術科学大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,919 Kバイト