チタン電極の真空中絶縁破壊特性～化学研磨処理および真空中加熱処理の効果について～

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-034

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Vacuum breakdown characteristics of titanium electrodes processed by Chemical Polishing and Vacuum Heat Treatment

著者名: 山納康 (埼玉大学),吉田貴志 (埼玉大学),小林信一 (埼玉大学),道園真一郎 (高エネルギー加速器研究機構),齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構)

キーワード: チタン|絶縁破壊現象|真空|コンディショニング効果|化学研磨処理

要約(日本語): 本研究では、化学研磨処理および真空中熱処理を施したチタン電極の繰り返し絶縁破壊試験を行い、各表面処理の効果を調べた。その結果、化学研磨処理を施すことにより絶縁破壊特性が向上していること、特に初回の絶縁破壊電界および繰り返し絶縁破壊によるコンディショニング効果が大きいことがわかった。また、化学研磨処理を施した試料に更に真空熱処理を施すことで、より高い性能を示すことがわかった。さらに絶縁破壊試験前後においてXPS表面分析を行った結果、化学研磨処理、およびそれに続けて真空中の熱処理を施すことで試料表面に存在する炭素が減少し、代わりに電極材料であるチタンと酸化膜が明瞭になることがわかった。繰り返し絶縁破壊試験後の電極の表面状態は炭素が消滅しておりチタンはより明瞭に現れたが、酸素は完全には消滅しなかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 905 Kバイト