沿面放電測定用マイクロセンサの開発(III)

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-053

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Micro Sensor for Measuring Surface Discharge Phenomena with High Spatial Resolution(III)

著者名: 山口 祐樹(東京大学),松岡 成居(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学),三田 吉郎(東京大学)

著者名(英語): Hiroki Yamaguchi(The University of Tokyo),Shigeyasu Matsuoka(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo),Yoshio Mita(The University of Tokyo)

キーワード: マイクロギャップ|沿面放電|静電プローブ|半導体プロセス

要約(日本語): 本研究は、マイクロ沿面ギャップにおける沿面放電現象を把握し、その進展特性を解明することを目的とする。これまで、マイクロ沿面ギャップでの誘電体表面の電位分布を測定する静電プローブ型センサを作製したが、出力を取り出す配線の静電容量が問題となり、良好な結果を得られなかった。今回、半導体技術を用いて、放電電極、静電プローブ、出力用配線を一体としたセンサチップを作製し、その特性を検証した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 612 Kバイト