PTFE表面改質における窒素イオンエネルギーによる極性基導入効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-068

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Effect of polar groups introduction by nitrogen ion energy on PTFE surface modification

著者名: 中山 明彦(武蔵工業大学),岩尾 徹(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学)

著者名(英語): Akihiko Nakayama(Musashi Institute of Technology),Toru Iwao(Musashi Institute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Institute of Technology)

キーワード: PTFE|表面改質|窒素イオンエネルギー|極性基|高E/n放電

要約(日本語): 窒素雰囲気中での高E/n(E:電界，n:粒子密度)放電を用い，PTFE(Polytetrafluoroethylene)の表面改質を行った場合，凹凸が小さく，多くの極性基が導入される。本研究では，極性基が導入される原因として，高E/n放電の特徴である広範囲にわたるエネルギーを有する窒素イオンが影響しているか確認する。そのため，試料に照射される窒素イオンのエネルギーをコントロールして処理を行う。具体的には，網電極を用いバイアス電圧を印加し制御した。その結果，エネルギーの低いイオンは極性基導入に寄与し，エネルギーの高いイオンは架橋構造形成に寄与している可能性があると示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 672 Kバイト