放電パラメータ測定(64)-CF3 Iの電子移動速度測定-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-073

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Measurement of Gas Discharge Parameter (64) - Measurement of the Electron Drift Velocity in CF3I-

著者名: 柴田 尚人(苫小牧工業高等専門学校),長谷川 博一(苫小牧工業高等専門学校),佐藤亮太 (苫小牧工業高等専門学校),伊藤 秀範(室蘭工業大学),伊達 広行(北海道大学),下妻 光夫(北海道工業大学)

著者名(英語): Naoto Shibata(Tomakomai National College of Technology),Hirokazu Hasegawa(Tomakomai National College of Technology),Ryota Satoh(Tomakomai National College of Technology),Hidenori Itoh(Muroran Institute of Technology),Hiroyuki Date(Hokkaido University),mitsuo Shimozuma(Hokkaido Institute of Technology)

キーワード: 電子平均移動速度|ATS解析法|CF3I|電子スオーム

要約(日本語): ドライエッチングガスとしてCF4が広く用いられてきたが、特定フロン類は削減対象となり、代替フロンガスの開発において、その一つとしてCF3Iが開発された。このガスの電気的特性について検討するため、電子衝突断面積を決定することが重要とされ、放電パラメータの実測値が必要とされている。しかし、CF3Iの実測例はほとんどないため、本研究では二重シャッタドリフトチューブ測定装置を用い、換算電界E/N=200～3000Tdの範囲で電子平均到着時間分布を測定し、ATS法によりCF3Iの電子平均移動速度Wmを算出した。その結果、E/N=500Td以下でCF3IのWmはCF4のそれより約10%小さい値となった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 926 Kバイト