放電パラメータ測定（65）-CF3Iの電離係数の測定-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-074

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Measurement of Gas Discharge Parameter(65)-Measurement of the Ionization coefficient in CF3I-

著者名: 成田 慎哉(苫小牧工業高等専門学校),長谷川 博一(苫小牧工業高等専門学校),佐藤蒼生 (苫小牧工業高等専門学校),伊藤 秀範(室蘭工業大学),伊達 広行(北海道大学),下妻 光夫(北海道工業大学)

著者名(英語): Shinya Narita(Tomakomai National College of Technology),Hirokazu Hasegawa(Tomakomai National College of Technology),Aoi Sato(Tomakomai National College of Technology),Hidenori Itoh(Muroran Institute of Technology),Hiroyuki Date(Hokkaido University),Mitsuo Shimozuma(Hokkaido Institute of Technology)

キーワード: CF3I|SST法|実効電離係数|二次電離係数|電子付着係数

要約(日本語): SF6やCF4などの代替ガスの一種としてCF3Iが開発されているが、この気体のプロセシングプラズマのモデリングを行う上で電子衝突断面積が必要である。CF3Iの電子衝突断面積の決定を行うためには放電パラメータの実測値が必要となるが実測値の報告はほとんどない。本研究はCF3IについてSteady-State-Townsend法を用いて換算電界E/N=400～5000[Td]の範囲で電離係数α/N、二次電離係数γT、実効電離係数（α-η）/N（電子付着係数η）等の放電パラメータを算出した。（α-η）/Nは低E/N領域でCF4より小さな値を示したが、E/Nが大きくなるにつれて両者の差は小さくなる傾向を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 804 Kバイト