NLDプラズマの解析(I)　磁気的中性線近傍の電子運動

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-080

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Analysis of NLD plasma - electron motion near magnetic neutral loop

著者名: 大佐賀毅 (北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学)

著者名(英語): Tsuyoshi Osaga(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Akihiro Murayama(Hokkaido University)

キーワード: NLDプラズマ|単電子運動|磁界|グラディエントBドリフト|ローレンツ力

要約(日本語): NLD（Neutral Loop Discharge、磁気的中性ループ放電）プラズマは、MEMSや半導体集積回路製造工程に用いられる誘導結合型プラズマの一種である。3つのコイルによる静磁界を重ね合わせ、反応容器内に環状の磁気的中性線 (NL: Neutral Loop) を形成し、RFアンテナによって駆動する。このプラズマは低気圧、低温で駆動でき、NLの上下位置、半径を動的に操作することによって高異方性、大面積、均一プロセスを実現できる技術として期待されている。本研究ではNLDプラズマ中の電子伝導の基礎として、反応容器内、不均一電磁界中における無衝突電子運動を数値的に解析した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,890 Kバイト