回折モアレ光による精密位置センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-143

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Development of position control system using moire signal

著者名: 岩田雅史 (愛知工業大学),内田敬久 (愛知工業大学)

キーワード: 回折格子|位置決め|位置センサ|モアレ光

要約(日本語): 電気機器などの小型・高性能化に伴い，半導体集積回路が高密度となり回路パターンの微細化が求められている．現在，回路線幅は数十nmの製造が可能であるが，更なる微細化には，高精度の位置決め装置が必要不可欠である．そこで，集積回路の製造過程で高精度の位置決めを行う方法として回折モアレ光の応用がある．本報告では，理論式によるシミュレーション結果と実測値の比較を行い，位置精度について検討した．シミュレーションと実測値はよく一致しており，回折モアレ光の光強度が，2枚の回折格子の相対変位に対して，正弦類似波形で周期な変化していることを得た．また，格子ピッチ幅が小さくすることにより，位置精度を向上させることができた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 828 Kバイト