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NO/ N2雰囲気におけるマイクロプラズマの発光時間計測

NO/ N2雰囲気におけるマイクロプラズマの発光時間計測

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-167

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Observation of Emission Spectra by Microplasma in NO/N2 Mixture

著者名: 清水 一男(静岡大学),石井 達也(静岡大学),Marius Blajan(静岡大学)

著者名(英語): Kazuo Shimizu(Shizuoka University),Tatsuya Ishii(Shizuoka University),Marius Blajan(Shizuoka University)

キーワード: マイクロプラズマ|発光分析|パルスパワー|マルクス回路

要約(日本語): 本研究では活性種の反応及びその寿命等の基礎過程を調べる事を目的として、マイクロプラズマの発光分析を行った。マイクロプラズマの電源として、FETをスイッチング素子としたマルクス回路を使用し、負極性パルス電圧を電極へと印加した。分光分析には分光器、光電子増倍管及びICCDカメラを使用した。ファンクションジェネレータからのトリガ信号でICCDカメラをパルス電源と同期させ、NO 1000 ppm/N2バランスガス雰囲気中でのマイクロプラズマのリアルタイム発光分析を行った結果、NO-γband,N2 second positive,first negative bandからの発光が観測された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 760 Kバイト

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