圧電トランスを用いた小型Xe2*エキシマランプの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-186

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Development of Compact Excimer Lamp Using Piezoelectric Transformer

著者名: 守屋康平(徳島大学),寺西研二(徳島大学),下村直行(徳島大学),鈴木進(千葉工業大学),伊藤晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Kouhei Moriya|Kenji Teranishi|Naoyuki Shimomura|Susumu Suzuki|Haruo Itoh

キーワード: 圧電トランス|エキシマランプ|誘電体バリア放電|真空紫外光

要約(日本語): 著者らは、小型の高電圧発生素子である圧電トランス(PT)がプラズマリアクタとして動作することを見出し、その動作特性と応用について検討している。本報告ではPTにより発生する誘電体バリア放電(DBD)を利用した小型エキシマランプを試作し、VUV発光特性について検討した結果を述べる。ギャップ長は2 mm一定とし、ガス圧力を400～1000 Torrの間で変化させ、PTの駆動電圧を変化させながら放電電力とVUV発光強度を測定した。放電電力とガス圧力を増加させるとVUV発光強度は高くなるが、放電電力が大きくなると飽和する特性を示した。また、放電電力の増加に伴い発光効率は次第に低下するが、ガス圧力が高い程、発光効率は高くなった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 365 Kバイト