ショートアークランプのシミュレーションモデル

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-188

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A simulation model of short arc lamp

著者名: 辻村 吉寛(大阪大学),田中 学(大阪大学),金井 信夫(オーク製作所),早川 壮則(オーク製作所)

著者名(英語): Yoshihiro Tsujimura(Joining and Welding Research Institute Osaka University),Manabu Tanaka(Joining and Welding Research Institute Osaka University),Nobuo Kanai(ORC MANUFACTURING CO.,LTD.),Takenori Hayakawa(ORC MANUFACTURING CO.,LTD.)

キーワード: ショートアークランプ|数値解析|アーク

要約(日本語): 半導体や液晶テレビのディスプレイのリソグラフィにおいて，ディスプレイの大型化が進むにつれ，現在，ショートアークランプの大型化・高出力化が求められているが，その詳しい動作メカニズムには未だ不明な点が多い．そこで本研究では，ショートアークランプの数値解析モデルを構築することによって，ショートアークランプのエネルギーバランスや物質輸送などメカニズムの解明を目的としている．しかし現状では，ショートアークランプの数値解析モデル化は少なく，本研究では，大気圧フリー・バーニング・アークの数値解析モデルをショートアークランプに拡張し，その数値解析モデル化を試みた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,989 Kバイト