表面波プラズマにおける窒素振動励起分子と電子の第二種衝突効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-189

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Effect of Super Elastic Collision of Nitrogen Vibrationally Excited Molecule and Electron in Surface Wave Plasma

著者名: 大坪弘治 (武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Koji Ohtsubo(Musashi Institute of Technology),Ono Shigeru(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 表面波プラズマ|振動励起分子|第二種衝突

要約(日本語): 窒素などの二原子分子プラズマは振動や回転に関する内部エネルギーを持ち、プラズマの物性に大きく影響する。表面波プラズマは現在注目を集めているプラズマ源であり、様々な応用を考えた場合、誘電体距離によって、どのようなプラズマパラメータの変化があるかも重要な知見である。そこで本研究では、表面波窒素プラズマのプラズマパラメータの誘電体距離特性を発光分光法とプローブ法を用いて測定し、振動励起分子のプラズマに与える影響の解明を試みた。誘電体距離1～2.5[cm]では、振動温度の減少傾向が緩やかであり、かなりの高温である。このような状況では振動励起分子と電子の第二種衝突によりプラズマパラメータに変化が生じると考えられる。講演ではプラズマパラメータの測定結果も含めて検討した結果を述べる予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 752 Kバイト