マイクロ波放電窒素プラズマ中の電子・振動励起準位の非平衡性に関する基礎研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-190

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fundamental Research of Non-Equilibrium in Electronicand Vibrational Levels of Microwave Discharge Nitrogen Plasma

著者名: 柴田 智彦(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Tomohiko Shibata(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: プラズマ|窒素|発光分光計測|振動励起状態

要約(日本語): プラズマプロセスや表面改質など、産業に広く利用されている窒素プラズマに関し、プロセス高効率化や材料特性制御のため、プラズマの素過程からの理解が重要となってきている。本研究では、基礎研究としてマイクロ波で励起した窒素プラズマを、分光計測により1st positive systemと2nd positive systemの発光スペクトルを取得し、B、C状態の振動・回転温度、励起状態数密度を求めた。また、ダブルプローブ計測により電子密度と電子温度を求めた。一方で、電子温度、電子密度、圧力、ガス温度を入力値とする衝突輻射モデルによる計算を行い、励起状態密度を求めて実験値と比較し、また、実験的に求めることができない励起準位数密度について理論的な考察を加えた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,034 Kバイト