非平衡プラズマによる界面伝熱～基礎実験と分子動力学シミュレーション～

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-192

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fundamental Study of Interfacial Heat Transfer by Low-Pressure Non-Equilibrium Discharge Plasmas

著者名: 橘高 勇介(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Yusuke Kittaka(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 非平衡プラズマ|プラズマ材料相互作用|界面伝熱|古典分子動力学

要約(日本語): 本研究ではプラズマ照射時の基板温度に対して、非平衡プラズマ構成粒子の各種温度が与える影響について、実験とシミュレーションにより考察を行う。実験では分子性気体のマイクロ波放電プラズマの温度パラメータとして、発光分光法により気体分子の回転・振動温度、熱電対を用いて放電管内の基板温度を測定した。酸素プラズマの場合、OHラジカルの回転温度と基板温度はほぼ等しくなっており、振動温度と基板温度の推移に相関が見られた。シミュレーションでは古典分子動力学法を用いて界面伝熱の計算を行った。単原子・二原子分子の衝突粒子、表面粒子を三次元に配列し、粒子の衝突条件による表面温度の変化を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 831 Kバイト