直流プラズマ支援熱化学気相堆積による単層カーボンナノチューブ成長

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-197

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): DC Plasma-Assisted Thermal Chemical Vapor Deposition of Single-Walled Carbon Nanotubes

著者名: 高山 純一(北海道大学),浅岡 典央(北海道大学),福田 裕司(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学),須田 善行(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Junichi Takayama(Hokkaido University),Norichika Asaoka(Hokkaido University),Yushi Fukuda(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Akihiro Murayama(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 単層カーボンナノチューブ|化学気相堆積|直流プラズマ|ラマン分光

要約(日本語): 筆者らはこれまでに，化学気相堆積により単層カーボンナノチューブを成長させる際に，特定の直径・電気伝導性の単層カーボンナノチューブのみを選択的に成長させることを狙って，原料のメタン／水素混合ガスに二酸化炭素ガスを添加する実験に取り組んできた。弱い酸化作用を持つ二酸化炭素が成長に不要なアモルファスカーボンや直径の細い単層カーボンナノチューブを除去することを確認している。プラズマは化学活性種を生成するため，この反応を促進する可能性がある。本稿では，メタンガスを用いた熱化学気相堆積プロセスに直流プラズマ源を組み込んだ実験により，結晶性のよい単層カーボンナノチューブが合成できたことを報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 887 Kバイト