円筒型並列MCS放電の並列数増加による並列MCS放電の大容積・高気圧化の研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-221

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Research of making a large volume and high pressure plasma source by a cylindrical MCS discharge with increasing of electrodes

著者名: 明石 康行(埼玉大学),長野 和海(埼玉大学),佐藤 連(埼玉大学),齋藤 悠輔(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Yasuyuki Akashi(Graduate School of Science and Engineering Saitama University),Kazumi Nagano(Graduate School of Science and Engineering Saitama University),Ren Sato(Graduate School of Science and Engineering Saitama University),Yuusuke Saitou(Graduate School of Science and Engineering Saitama University),Mituaki Maeyama(Graduate School of Science and Engineering Saitama University)

キーワード: プラズマ|MHCD|MCS|円筒型|高気圧|大容積

要約(日本語): 大気圧・大容積プラズマ源の開発を目的とし、複数のマイクロホローカソード放電（MHCD）プラズマをプラズマカソードする並列マイクロホローサステインド（MCS）放電を行っている。われわれは対数ポテンシャルによる電子閉じ込め効果を期待し、円筒型並列MCS放電を提案しており、現在最大20kPaにおいて8並列MCS放電を実現している。しかしより高気圧下において並列MCS放電を実現するためにはMHCD電流を増加させる必要があるが、それによりアークに移行してしまうという問題があった。MHCD電極並列数を増加させることにより円筒空間内に存在する総電子数が増加し、より少ないMHCD電流による高気圧下での並列MCS 放電の実現が期待される。本研究においてわれわれは並列数を増加させたときのMHCD電流と第三電極の電圧を測定した。5kPa下においてMHCDに1kHzの繰り返し周波数を供給し、単一MHCD電流15mAにおいて16並列MCS放電を行い、13並列を実現した。単一MHCD電流10mAのときは8並列と評価できMHCD電流の調整により並列動作が可能となることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 760 Kバイト