微細ガス流を用いた大気圧高周波コロナマイクロ放電の特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-222

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Characterization of atmospheric RF-corona microdischarges with miniature helium gas flow

著者名: 柳 重幸(東京工業大学),久納一亮 (東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Shigeyuki Yanagi(Tokyo Institute of Technology),Kazusuke Kuno(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Ishii Shozo(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: プラズマ|大気圧|マイクロ放電|高周波|コロナ

要約(日本語): マイクロサイズのプラズマでは電極間における駆動ガスの滞在時間が短いため、電源の周波数が高い方が効率的に電力を注入できる。従って、微小ノズル電極からヘリウムガス流を供給し、寸法が0.2～1mmの大気圧マイクロプラズマを周波数13.56MHzの高周波電力により生成した。電極は微小ノズル電極に対向して、穴径3mmの開口部を持つ接地電位の平板電極を配置した。ヘリウムガス流量、電極間距離、入力電力をパラメータとして放電形態の変化を観測した。また、放電の進展過程を、時間・空間分解能のある発光分光測定により調べた。最後に、平板電極の開口部から流出したプラズマを高分子化合物表面に照射し、表面における親水・疎水特性の変化を評価した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 730 Kバイト