反応性スパッタリング法によるTiO2薄膜の光機能特性に対する結晶構造の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-083

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): The influence of microstructure on photofunctional properties for TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering.

著者名: 田中 啓太(工学院大学),曽我 孝行(工学院大学),西山 健一(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

著者名(英語): Keita Tanaka(Kogakuin University),Takayuki Soga(Kogakuin University),Kenichi Nishiyama(Kogakuin University),Ichiro Takano(Kogakuin University)

キーワード: TiO2薄膜|反応性スパッタリング|光機能特性|半導体特性

要約(日本語): TiO2薄膜を用いた太陽電池は環境に無害で安価であることから、将来のクリーンエネルギーとして期待されている。また光触媒効果には、防汚、抗菌などの作用があり、太陽光のエネルギーによって活性酸素を生成し、環境汚染物質などを分解する特性をもっている。TiO2の光触媒効果は主として紫外光で発現するため、太陽光の多くを占める可視光での活性が低く、可視光化のための多くの研究がなされている。例えば、反応性スパッタリングによるN添加、Crなどのイオン注入によって可視光領域で光触媒効果が発現すると報告されている。本研究では紫外光下での光触媒作用を維持しながら可視光下で高い光触媒作用を示すことを期待し，反応性スパッタリング法を用いてTiO2薄膜の作製を試みた。作製した試料の光機能特性などと結晶構造との関係性を調査したところ、結晶性が諸特性に影響を及ぼす結果が得られた。

原稿種別: 日本語

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