反応性スパッタリング法により作製されたTiO2の膜厚と光電導性の関係

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-084

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): The Relationship between Film Thickness and Photoconductivity of TiO2 Thin Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

著者名: アリ ハイデル(工学院大学),永井 裕己(工学院大学),佐藤光史 (工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

著者名(英語): Ali Haider(Kogakuin University),Nagai Hiroki(Kogakuin University),Mitsunobu Sato(Kogakuin University),Takano Ichiro(Kogakuin University)

キーワード: 酸化チタン|電気的特性|光電導特性

要約(日本語): TiO2薄膜を用いた太陽電池は環境に無害で安価であることから、将来のクリーンエネルギーとして期待されている。また光触媒効果には、防汚、抗菌などの作用があり、太陽光のエネルギーによって活性酸素を生成し環境汚染物質などを分解する能力をもっている。一方で、TiO2の優れた電気特性は高誘電率でn型半導体性を示す。しかしながら、酸素欠損状態での光と電気的特性の関係については、詳細に検討されていない。一般にTiO2薄膜に光照射することで抵抗値が減少することは知られているため、本研究では殺菌灯(SL)、ブラックライト(BL)、蛍光灯(FL)照射時における窒素添加TiO2薄膜の膜厚を変化させた時の光伝導特性について調査したところ、膜厚250nmの試料において最も高い光伝導電流が得られた。

原稿種別: 日本語

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