HFCVD法におけるダイヤモンド成長面の制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-085

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Control of surface morphology of HFCVD polycrystalline diamond.

著者名: 阿武佑介 (福岡工業大学),工藤孝一 (福岡工業大学)

キーワード: ダイヤモンド|HFCVD|BEN

要約(日本語): BEN法を用いたHFCVD法でSi基板上にダイヤモンドを生成する。この生成したダイヤモンドをエピタキシャル成長させるためにダイヤモンド結晶面の単一化を目指す。ここでは、核発生処理時、堆積処理時のメタン濃度を変化させることによる、ダイヤモンド成長面への影響を調べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 838 Kバイト