PLD法により作製したCeF3薄膜の光伝導特性評価
PLD法により作製したCeF3薄膜の光伝導特性評価
カテゴリ: 全国大会
論文No: 2-086
グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集
発行日: 2009/03/15
タイトル(英語): Photoconductivity evaluation of cerium fluoride thin films deposited by pulsed laser deposition
著者名: 益川陽平 (名古屋工業大学),田端 一善(名古屋工業大学),玉越 友人(名古屋工業大学),市川 洋(名古屋工業大学),小野 晋吾(名古屋工業大学),福田 健太郎(トクヤマ),須山 敏尚(トクヤマ),横田 有為(東北大学),柳田 健之(東北大学),吉川 彰(東北大学)
著者名(英語): Yohei Masukawa(Nagoya Institute of Technology),Kazuyoshi Tabata(Nagoya Institute of Technology),Tomohito Tamakoshi(Nagoya Institute of Technology),Yo Ichikawa(Nagoya Institute of Technology),Shingo Ono(Nagoya Institute of Technology),Kentaro Fukuda(Tokuyama),Toshihisa Suyama(Tokuyama),Yuui Yokota(Tohoku Univ),takayuki Yanagida(Tohoku Univ),Akira Yoshikawa(Tohoku Univ)
キーワード: PLD法|フッ化物|薄膜|受光素子|紫外線
要約(日本語): 現在、短波長の光を検出可能な受光素子の開発が求められている中、従来の酸化物半導体を用いた受光素子よりもさらに短波長の光を検出するため、我々は、酸化物半導体よりもバンドギャップの大きいフッ化物を用いて紫外センサーの開発を行った。本研究ではCeF3を用いて光伝導特性の評価を行った。実際に紫外線照射時、非照射時の電圧-電流特性が変化しCeF3が光伝導性を有することが確認できた。このことから火炎センサー等への応用のためソーラーブラインドセンサー開発への礎を築くことができた。
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 736 Kバイト
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